DHHF-1熱絲等離子體薄膜沉積實驗裝置

主要技術參數：

◆真空腔室尺寸：Φ350×H500mm；高斯計特斯拉計

◆真空腔室結構：立式前開門結構，后置抽氣系統，雙層水冷；

◆真空系統：擴散泵+機械泵+維持泵；

◆TKZM-06智能脈沖控制儀TKZM-08，DHHF-1熱絲等離子體薄膜沉積實驗裝置極限真空：5×10-4Pa；

◆真空測量方式：數顯復合真空計、薄膜壓力計；

◆TKZM-06智能脈沖控制儀TKZM-08，DHHF-1熱絲等離子體薄膜沉積實驗裝置基片臺尺寸：Φ100mm；

◆基片臺升降：80～100mm；

◆基片臺轉速：0～10轉/分（可調）；

◆熱絲溫度：2000℃～2500℃；

◆襯底溫度：600℃～1000℃；

◆制膜種類：金剛石厚膜、類金剛石膜、氮化硅和碳化硅膜等；

◆工作電源：AC380 V，50Hz；整機功率5KW。電源型式：熱絲電源；

◆真空控制方式：手動按鈕控制；

◆工藝氣體控制方式：4路工藝氣體流量控制及顯示系統；

◆報警及保護系統：對泵、電極等缺水、過流過壓、斷路等異常情況進行報警并執行相應保護措施。

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