微小氣體流量計 低耐壓型質量流量計 氣體流量控制器
AX10FC-L采用無熱漂移，無響應滯后的差壓質量測量原理，可以同時顯示和輸出：瞬時流量、累計流量、壓力、溫度等。當需要控制功能時，還可以加裝電磁比例調節(jié)閥和內置PID調節(jié)功能。
顯示器、鍵盤、通訊和多變量輸出均是標準配置，具有手操器/顯示儀/積算儀的全部功能。通過面板操作，可以完成以下內容：氣體選擇、單位選擇、量程設定，報警點設定，閥門狀態(tài)、自動校準等。
與熱式流量計不同，當使用氣體轉換系數(shù)時，V10FC-L沒有附加的“比熱容”誤差。所以，即使測量氣體與出廠時的標定氣體不同，也不會影響測量精度。
產品應用
產品廣泛用于真空,鍍膜,太陽能,半導體,石油石化,煤炭冶金,制氣配氣,環(huán)保及各種分析儀器等。
產品特點
● 普通低壓型，適于1Mpa以下非腐蝕的清潔氣體
● 無熱漂移，可以忽略的溫移和時漂，*穩(wěn)定性0.1%F.S/年
● 準確度0.8%，量程可在100：1范圍內按鍵設定，無需標定
● 瞬時和累計流量、壓力、溫度可同時顯示和輸出
● 無需預熱，測量時無響應滯后
● 內置31種氣體轉換系數(shù)，無比熱容附加誤差，不影響精度
● 自動累計，分段累計功能
| 技術指標 | AX10FC-LC質量流量控制器 | AX10FC-LM質量流量計 |
| 量程范圍 | 小量程:5SCCM～10SLM 中量程:10SLM～30SLM 大量程:30SLM～250SLM | |
| 控制范圍 | 控制器50：1 | 流量計100：1
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| 準 確 度 | 流量：±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程 | |
| 可選±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程 | ||
| 壓力：0.5%F.S 溫度：±1℃ | ||
| 線 性 | ±0.5%F.S | |
| 重復精度 | ±0.2%F.S | |
| 響應時間 | 100ms | 10ms |
| 數(shù) 字 量 | RS232/485，MODBUS協(xié)議 | |
| 模 擬 量 | 0～5V、4～20mA、1～5V | |
| 供電 | 12V/24V/±15V可選 | |
| 工作溫度 | 0～50℃ | |
| 工作壓力 | 工作壓差：0.03～0.5MPa | 工作壓降：<0.01Mpa |
| zui大耐壓 | 1MPa | |
| 電氣連接 | DB15孔 | |
| 漏 率 | 1×10-9SccsHe | |
| 溫度系數(shù) | ±0.015%F.S/℃ | |
| 底座材質 | 316L | |
| 密封材料 | 氟橡膠,氯丁橡膠，丁晴橡膠 | |
| 接 頭 | VCR1/4;swagelokφ6 | |
